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臭氧機的應用主要是滅菌消毒。這主要是因為臭氧有強的氧化能力，臭氧在一定濃度下能與細菌、病毒、病原體等微生物產生生化反應。臭氧具有很高的能量，在常溫、常壓下很快自行分解為氧（O2）和單個氧原子（O），單個氧原子具有很強的活性，對細菌、病毒、病原體等微生物具有較強的氧化作用。 國際衛生組織對其滅菌功效曾歸納比較，臭氧與其它殺菌劑對大腸桿菌的殺滅效果依次為：臭氧（O3） ， 次氯酸（HClO） ，二氧化氯（ClO2）， 銀離子（Ag+） ， 次氯酸根（ClO） ， 高鐵酸鹽（Fe3+） ， 氯胺（NHCl3）。